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ALICAT防爆型气体质量流量计/控制器
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ALICAT防爆型气体质量流量计/控制器
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商品描述
差压原理
,具有防爆认证
量程
范围:从
0-0.5SCCM到0-4000SLPM
压力
范围:
1MP
a
响应
时间:流量计
10
ms/
控制器100
ms
精度
:±
(0.8%读数
+0.2
%满量程)
可选
±
(0.
4
%读数
+0.2
%满量程)
认证
:
ATEX、
CSA
,Class 1Di
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